תאי תהליך ואקום
TCH-340 / TCH-340T / TCH-400 / TCH-500/550D / TCH-700 / TCH-864 Yael. עד 400 °C, 5×10⁻⁷ טור. גזיזה, אפייה, הסרת ממיסים לסוללות ליתיום (NMP), ייבוש רכיבים רגישי-לחות לפי JEDEC J-STD-033B. תואם חדר נקי ISO 7.
תעופהמוליכיםסוללותרפואי
תאי בדיקה תעופתיים וסביבתיים
TCH-447 TVAC (תעופה, פני-ים עד חלל, <4×10⁻⁸ טור, בדיקות רציפות שנה). TCH-499 אמצעי גובה (עד 70,000 רגל). TCH-495 רפואי (IEC 60601-1). בשימוש ISRO, IAI, Rafael, Elbit משנת 1982.
תעופהביטחוןרפואייצרני לוויינים
תנורי ואקום-על
HVF-1000 / 1004 / 1006 ב-1200 °C או 950 °C, 2×10⁻⁷ טור. בקרת PID רב-אזורית, זרימת גז ניתנת לתכנות לכל שלב. לאנילינג, סינטרינג, הדבקת דיפוזיה, ועיבוד פוסט-תהליך לקוונטים.
קוונטיםתעופהביטחוןמחקר חומרים
תאי כפפות אינרטיים
GB-200 / 300 / 400 עצמאיים (2 / 3 / 4 כפפות), GB-450 משולב עם תנורי ואקום, TFDS-870 משולב עם PVD. תת-ppm של O₂/H₂O. מעבדות תא כפפות משורשרות — Khalifa University Abu Dhabi מפעילה מעבדה של 8 תאים.
סוללותקוונטיםחומריםOLED
מערכות PVD לסרטים דקים
TFDS-462/460 תא יחיד רב-תכליתי, TFDS-840/842 קומפקטי, TFDS-847 PLD, TFDS-4600 קלאסטר רב-תא, TFDS-4500 ייעודי לג'וזפסון ג'אנקשן (היטיה 0.01°), TFDS-5000/5500 כלי קלאסטר. DC / RF / Pulsed-DC / HiPIMS. ויפר עד 8″.
מוליכיםאופטיקהקוונטיםתעשייה
אידוי בקרן אלקטרונים (EVAP-X)
EVAP-4X / 6X / 8X לוויפרים 4″ / 6″ / 8″. מקור קרן אלקטרונים של Telemark + בקר 861. 6 ק"ו, 0–10 ק"וולט. עד 4 מקורות תרמיים לסטאקים היברידיים מתכת/דיאלקטרי. קירור פעיל למצע ל-lift-off.
מוליכיםMEMSאופטיקהמיקרואלקטרוניקה
ALD — שיקוע שכבה אטומית
ALD-330 רב-תכליתי (תרמי + פלזמה), ALD-340 רב-תא תרמי, ALD-350 לאבקות. ויפרים 4″–8″, 350 °C, 2–6 פרקורסורים. ציפויי שטח ליהלום NV, MEMS, תאי שמש, צגים.
קוונטיםסולאריצגיםMEMS
תנורי התכת קשת
AM-133 קומפקטי, AM-133C עם יציקת שאיבת ואקום (יציקת מוטות עד 30 ג'+), AM-133H עם שאיבה משנית עד 10⁻⁴ טור. עד 3400 °C. כפתורים, התכופפות, סגסוגות עמידות חום, מחקר גרעיני ודלק.
חומריםגרעיניתעופהביטחון
מערכות גידול גביש
שיטות Bridgman, Czochralski ו-Solid-Solution. לחומרי אינפרא-אדום, חומרים אוקסידיים ומחקר סוללות ליתיום. אוטומציה מלאה PC/PLC בכל-באחד, עיצוב לחדר נקי, קומפקטי-עד-מתרחב.
מחקר חומריםאופטיקת IRמעבדות גביש
פתרונות משולבים וקלאסטרים
מעבדות מקצה לקצה — מקונספט לפתרון פועל. Khalifa University Abu Dhabi (8 תאי כפפות + 4 PVD + ALD + תנור ואקום + אליפסומטר + מנקה פלזמה, 2023). קלאסטרים רב-מערכת עם SCADA מרכזי.
מעבדה מלאהייצורקוונטים
תחנות בדיקת דליפות של VST
LTS-100 Mini (רכיבים קטנים) ו-LTS-200 Compact (התקנים בינוניים). בנויות על פלטפורמת ATEQ F620. 128 תוכניות · IP67/IP68 · 0.1–5 בר · רגישות 1 Pa · תאים מותאמים לפי שרטוטי הלקוח.
רכברפואיאלקטרוניקהאריזה
רכיבי ואקום
תאים מותאמים, מובילי גישה, שסתומים, חלוניות ומחברים. תקני CF/KF/ISO. מיוצרים לפי מפרט, נשלחים מהר. ל-OEMs ולמעבדות שבונות מערכות עצמאיות.
כל משתמשי ואקום
בודקי דליפות ATEQ
F620 · D620 · F28+ · F670LV · G620 · CDF7000 · TLC600 · WINATEQ 300. מוביל עולמי בבדיקת דליפות משנת 1975 — 150,000+ מכשירים מותקנים אצל 5,000+ לקוחות ב-40+ מדינות. VST שותפת ההפצה והשילוב הישראלית.
רכברפואיתעופהאריזה
אליפסומטרי J.A. Woollam
אליפסומטריה ספקטרוסקופית לעובי סרט, קבועים אופטיים וניתוח סטאק. מכשירי ייחוס תעשייתיים. סדרת M-2000. כולל תמיכת יישומים.
מטרולוגיהאופטיקהמו"פ
מערכות HV/UHV של Prevac
מערכות ואקום-על ואקום-על-על למחקר ולתעשייה, של Prevac (פולין). מופצות על ידי VST. קטלוג מוצרים מלא בקרוב.
מחקרUHVמדעי שטח